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Warwcik 推出一款高温热式气体质量流量控制器
来源: | 作者:pmo978b0f | 发布时间: 2021-12-29 | 478 次浏览 | 分享到:

Warwcik 推出一款高温热式气体质量流量控制器

通用的热式气体质量流量计和控制器,介质工作温度在5-45℃,

在工业制程中经常遇到一些雾化(或汽化)的介质,

由于受到环境温度的影响,在经过流量控制器时产生液体,

堵塞热式气体质量流量控制器的旁路通道,导致产品不能正常工作。

Warwick 公司推出的一款高温质量流量控制器很好的解决了这个问题

型号:MC-DG910HT

这款产品流体经过部分采用全金属密封,控制部分和过流部分分开设计,

介质工作温度可达120℃

在半导体、镀膜、太阳能多晶硅制程中有广泛的应用

相关参数如下: